Microtransducer CAD

La progettazione assistita da computer (CAD) dei microtrasduttori semiconduttori è relativamente nuova rispetto ai loro omologhi nel mondo dei circuiti integrati. I microtrasduttori in silicio integrato vengono realizzati utilizzando tecniche di microfabbricazione simili a quelle dei circuiti integrati standard (IC). Tuttavia, a differenza dei dispositivi IC, i microtrasduttori devono interagire con il loro ambiente, rendendo la loro simulazione numerica notevolmente più complessa. Mentre la progettazione degli IC mira a sopprimere gli effetti parassiti, i microtrasduttori prosperano nell'ottimizzazione di determinati effetti. La sfida di trovare modelli fisici e strumenti di simulazione che consentano il CAD dei microtrasduttori è l'argomento di questo libro. Il libro è destinato a essere un testo per studenti laureati in ingegneria elettrica e fisica e come riferimento per ingegneri CAD nell'industria dei microsistemi.