Hybridpolymere Wellenleiter für die Evaneszent Feld Mikroskopie

La recherche sur les processus cellulaires progresse, et de nouvelles technologies pour surveiller les activités biologiques prennent de plus en plus d'importance. En particulier dans le domaine de la micro- et nanotechnologie, de nouvelles voies s'ouvrent pour obtenir un aperçu des processus cellulaires qui n'étaient pas explorables avec une précision comparable auparavant. Une condition préalable au développement de ces techniques est la miniaturisation continue des composants utilisés. La fibre optique bien connue n'est plus le plus petit support de transmission réalisable pour les signaux basés sur la lumière. Le présent travail traite de la fabrication de structures de guides d'ondes encastrées à base de polymères hybrides, intégrées dans du PMMA. La réalisation de ces structures de guides d'ondes se fait d'une part par photolithographie et d'autre part par un processus de gravure avec des ions réactifs. Toutes les étapes de travail jusqu'à.