Microtransducer CAD

Der computergestützte Entwurf (CAD) von Halbleiter-Mikrotransducern ist im Vergleich zu ihren Pendants in der Welt der integrierten Schaltungen relativ neu. Integrierte Silizium-Mikrotransducer werden mit Mikrofabrikationstechniken realisiert, die ähnlich denen für Standard-Integrierte Schaltungen (ICs) sind. Im Gegensatz zu IC-Geräten müssen Mikrotransducer jedoch mit ihrer Umgebung interagieren, was ihre numerische Simulation erheblich komplexer macht. Während das Design von ICs darauf abzielt, parasitäre Effekte zu unterdrücken, profitieren Mikrotransducer von der Optimierung bestimmter Effekte. Die anspruchsvolle Suche nach physikalischen Modellen und Simulationswerkzeugen, die den CAD von Mikrotransducern ermöglichen, ist das Thema dieses Buches. Das Buch ist als Lehrbuch für Master-Studierende der Elektrotechnik und Physik sowie als Referenz für CAD-Ingenieure in der Mikrosystemtechnik gedacht.