Development and Characterization of a Dispersion-Encoded Method for Low-Coherence Interferometry

Das Buch "Development and Characterization of a Dispersion-Encoded Method for Low-Coherence Interferometry" bietet eine umfassende Untersuchung einer Erweiterung der Niedrigkohärenzinterferometrie durch Dispersion-Encoding. Es behandelt theoretische Grundlagen und praktische Anwendungen in Bereichen wie Oberflächenprofilometrie, Schätzung der polymeren Vernetzungsdichte und Bestimmung der Dicke von Dünnschichten. Die Ergebnisse der Charakterisierung zeigen bemerkenswerte Fortschritte, darunter einen axialen Messbereich von 79,91 µm und eine axiale Auflösung von 0,1 nm. Zudem werden Profile von bis zu 1,5 mm Länge in einer scanfreien Weise erfasst, was eine signifikante Verbesserung im Vergleich zu bestehenden Methoden darstellt. Das Buch beleuchtet auch die Entkopplung der axialen und lateralen Messbereiche sowie die Schätzung funktionaler Parameter wie die Oberflächenrauhigkeit. Die Charakterisierung des Grades der polymeren Vernetzung erfolgt in Abhängigkeit vom Brechungsindex und wird mit einer räumlich aufgelösten Auflösung von 3,36 x 10-5 durchgeführt, unterstützt durch einen neu entwickelten mathematischen Analyseansatz.